planar epitaxial technique是什么意思

用法例句

A high voltage BCD process using thin epitaxial technology is developed for high voltage applications.

针对高压应用领域,开发了一种基于薄外延技术的高压BCD兼容工艺,实现了900V高压双RESURF LD-MOS与低压CMOS,BJT器件的单片集成。